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ÆǸŰ¡ 18,000 ¿ø
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ISBN 979-11-5971-487-0
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    1Àå ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ Àüü»ó
    1-1 ÇÑ´«¿¡ º¸´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º 12
    1-2 Àü °øÁ¤°ú ÈÄ °øÁ¤ÀÇ Â÷ÀÌÁ¡ 16
    1-3 ¼øȯÇüÀÇ Àü °øÁ¤ ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º 19
    1-4 ÇÁ·ÐÆ® ¿£µå¿Í ¹é ¿£µå 22
    1-5 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¶õ? 26
    1-6 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ´Â ¾î¶»°Ô ¸¸µé¾îÁú±î? 29
    1-7 ½Ç¸®ÄÜÀÇ ¼ºÁú 32
    1-8 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¿ä±¸µÇ´Â ûÁ¤µµ 35
    1-9 ¹ÝµµÃ¼ fab.¿¡¼­ÀÇ »ç¿ë¹ý 39
    1-10 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛÀÇ ´ë±¸°æÈ­ 43
    1-11 Á¦Ç°¿¡ ¿¬°áµÇ´Â ÈÄ °øÁ¤ 46
    1-12 ÈÄ °øÁ¤¿¡¼­ »ç¿ëÇÏ´Â ÇÁ·Î¼¼½º 49
    2Àå Àü °øÁ¤ÀÇ °³¿ä
    2-1 ¹Ì¼¼È­¸¦ Ãß±¸ÇÏ´Â Àü °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼½º 54
    2-2 ĨÀ» ÀÏ°ý Á¦ÀÛÇÏ´Â Àü °øÁ¤ 57
    2-3 ¡®´ë±â¡¯°¡ ¾ø´Â ÇÁ·Î¼¼½º¿¡¼­ ÇÊ¿äÇÑ °Ë»ç ¹× ¸ð´ÏÅ͸µ 61
    2-4 Àü °øÁ¤ fab.ÀÇ Àüü»ó 64
    2-5 fab.ÀÇ ¶óÀÎ ±¸¼º - º£ÀÌ ¹æ½ÄÀ̶õ? 67
    2-6 fab.¿¡¼­ Á¶±â ¼öÀ² Á¤»ó °¡µ¿ÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ÀÌÀ¯ 70
    3Àå ¿þÆ® ÇÁ·Î¼¼½º(¼¼Á¤°ú °ÇÁ¶)
    3-1 Ç×»ó ûÁ¤ ¸éÀ» À¯ÁöÇÏ´Â ¼¼Á¤ ÇÁ·Î¼¼½º 74
    3-2 ¼¼Á¤ÀÇ ±â¹ý°ú ¸ÞÄ¿´ÏÁò 77
    3-3 ¼¼Á¤ÀÇ ±âº»-RCA ¼¼Á¤ 80
    3-4 »õ·Î¿î ¼¼Á¤¹ý 83
    3-5 ¹èÄ¡½Ä°ú ¸Å¿±½ÄÀÇ Â÷ÀÌ 86
    3-6 ½º·çDzÀÌ Áß¿äÇÑ ¼¼Á¤ ÇÁ·Î¼¼½º 89
    3-7 ¼¼Á¤ ÈÄ ÇʼöÀûÀÎ °ÇÁ¶ ÇÁ·Î¼¼½º 92
    3-8 »õ·Î¿î °ÇÁ¶ ÇÁ·Î¼¼½º 95
    3-9 ¿þÆ® ÇÁ·Î¼¼½º¿Í µå¶óÀÌ ¼¼Á¤ 98
    4Àå ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ°ú ¿­Ã³¸® ÇÁ·Î¼¼½º
    4-1 ºÒ¼ø¹°À» ÅõÀÔÇÏ´Â ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ±â¼ú 104
    4-2 °íÁø°øÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ÇÁ·Î¼¼½º 107
    4-3 ¸ñÀû¿¡ µû¶ó »ç¿ë¹ýÀ» ±¸º°ÇÏ´Â ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ÇÁ·Î¼¼½º 110
    4-4 ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ÈÄÀÇ °áÁ¤ ȸº¹ ó¸® 114
    4-5 ´Ù¾çÇÑ ¿­Ã³¸® ÇÁ·Î¼¼½º 117
    4-6 ÃֽŠ·¹ÀÌÀú ¾î´Ò ÇÁ·Î¼¼½º 120
    4-7 LSI Á¦Á¶¿Í ¼­¸Ö ¹öÁþ 124
    5Àå ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÇÁ·Î¼¼½º
    5-1 ¹Ø±×¸²À» ±×¸®´Â ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÇÁ·Î¼¼½º 128
    5-2 ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÇÁ·Î¼¼½º´Â »çÁøÀÌ ±âº» 132
    5-3 ¹Ì¼¼È­¸¦ ¹ßÀü½ÃŲ ³ë±¤ ±â¼úÀÇ ÁøÈ­ 135
    5-4 ¸¶½ºÅ©¿Í Æ縮Ŭ 139
    5-5 ÀÎÈ­Áö¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °¨±¤¼º ·¹Áö½ºÆ® 142
    5-6 ·¹Áö½ºÆ® ¸·À» µµÆ÷ÇÏ´Â ÄÚÅÍ 146
    5-7 ³ë±¤ ÈÄ ÇÊ¿äÇÑ Çö»ó ÇÁ·Î¼¼½º 149
    5-8 ºÒÇÊ¿äÇÑ ·¹Áö½ºÆ®¸¦ Á¦°ÅÇÏ´Â ¾Ö½Ì ÇÁ·Î¼¼½º 153
    5-9 ¾×ħ ³ë±¤ ±â¼úÀÇ ÇöȲ 156
    5-10 ´õºí ÆÐÅÍ´×À̶õ? 159
    5-11 ´õ¿í ¹Ì¼¼È­¸¦ Ãß±¸ÇÏ´Â EUV ±â¼ú 162
    5-12 ½ºÅÆÇÁ ¹æ½ÄÀÇ ³ª³ë ÀÓÇÁ¸°Æ® ±â¼ú 165
    6Àå ¿¡Äª ÇÁ·Î¼¼½º
    6-1 ¿¡Äª ÇÁ·Î¼¼½º ÇÃ·Î¿Í Ä¡¼ö º¯È¯Â÷ 172
    6-2 ¿©·¯ ±â¹ýÀÌ Á¸ÀçÇÏ´Â ¿¡Äª ÇÁ·Î¼¼½º 175
    6-3 ¿¡Äª ÇÁ·Î¼¼½º¿¡ ÇʼöÀûÀÎ Çö󽺸¶¶õ? 178
    6-4 RF(°íÁÖÆÄ) Àΰ¡ ¹æ½Ä¿¡ ÀÇÇÑ Â÷ÀÌÁ¡ 181
    6-5 À̹漺 ¸ÞÄ¿´ÏÁò 184
    6-6 µå¶óÀÌ ¿¡Äª ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ °úÁ¦ 187
    7Àå ¼º¸· ÇÁ·Î¼¼½º
    7-1 LSIÀÇ ±â´É¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ¼º¸· ÇÁ·Î¼¼½º 192
    7-2 ´Ù¾çÇÑ ±â¹ýÀÌ ÀÖ´Â ¼º¸· ÇÁ·Î¼¼½º 195
    7-3 ÇϺÎÃþ Çü»ó¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â ¼º¸· ÇÁ·Î¼¼½º 198
    7-4 ¿þÀÌÆÛ¸¦ Á÷Á¢ »êÈ­ÇÏ´Â »êÈ­ ÇÁ·Î¼¼½º 201
    7-5 ¿­ CVD¿Í Çö󽺸¶ CVD 204
    7-6 ±Ý¼Ó¸·¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ½ºÆÛÅ͸µ ÇÁ·Î¼¼½º 207
    7-7 Cu ¹è¼±¿¡ ÇʼöÀûÀÎ µµ±Ý ÇÁ·Î¼¼½º 210
    7-8 low-k ¸·¿¡µµ »ç¿ëÇÏ´Â µµÆ÷ ÇÁ·Î¼¼½º 213
    7-9 high-k °ÔÀÌÆ® ½ºÅà ÇÁ·Î¼¼½º 216
    7-10 Cu/low-k ÇÁ·Î¼¼½º 221
    8Àå Æòźȭ(CMP) ÇÁ·Î¼¼½º
    8-1 ´ÙÃþ ¹è¼±¿¡ ÇʼöÀûÀÎ CMP ÇÁ·Î¼¼½º 226
    8-2 ÷´Ü ¸®¼Ò±×·¡ÇǸ¦ È°¿ëÇÑ CMP ÇÁ·Î¼¼½º 229
    8-3 ¿þÆ® ÇÁ·Î¼¼½º·Î ȸ±ÍÇÏ´Â CMP ÀåÄ¡ 232
    8-4 ¼Ò¸ðÀç°¡ ¸¹Àº CMP ÇÁ·Î¼¼½º 235
    8-5 CMPÀÇ Æòźȭ ¸ÞÄ¿´ÏÁò 238
    8-6 Cu/low-k¿¡ ÀÀ¿ëÇÏ´Â CMP ÇÁ·Î¼¼½º 241
    8-7 °úÁ¦°¡ »êÀûÇØ ÀÖ´Â CMP ÇÁ·Î¼¼½º 245
    9Àå CMOS ÇÁ·Î¼¼½º Ç÷Î
    9-1 CMOS¶õ? 250
    9-2 CMOS È¿°ú 254
    9-3 CMOS ±¸Á¶ Á¦ÀÛ(1) ¼ÒÀÚ °£ ºÐ¸® ¿µ¿ª 258
    9-4 CMOS ±¸Á¶ Á¦ÀÛ(2) À£ Çü¼º 262
    9-5 Æ®·£Áö½ºÅÍ Çü¼º(1) °ÔÀÌÆ®ÀÇ Çü¼º 265
    9-6 Æ®·£Áö½ºÅÍ Çü¼º(2) ¼Ò½º¿Í µå·¹ÀÎ 268
    9-7 Àü±Ø Çü¼º(W Ç÷¯±× Çü¼º) 271
    9-8 ¹é ¿£µå ÇÁ·Î¼¼½º 275
    10Àå ÈÄ °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ °³¿ä
    10-1 ºÒ·®Ç°À» Á¦°ÅÇÏ´Â ÇÁ·Îºù 280
    10-2 ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¾ã°Ô ÇÏ´Â ¹é ±×¶óÀεå 283
    10-3 ĨÀ¸·Î À߶󳻴 ´ÙÀÌ½Ì 286
    10-4 ĨÀ» ºÙÀÌ´Â ´ÙÀÌ º»µù 289
    10-5 Àü±âÀûÀ¸·Î ¿¬°áÇÏ´Â ¿ÍÀÌ¾î º»µù 292
    10-6 ĨÀ» ¼ö³³ÇÏ´Â ¸ôµù 295
    10-7 Á¦Ç°À» À§ÇÑ ¸¶Å·°ú ¸®µå Æ÷¹Ö 298
    10-8 ÃÖÁ¾ °Ë»ç °øÁ¤ 301
    11Àå ÈÄ °øÁ¤ÀÇ µ¿Çâ
    11-1 ¿ÍÀÌ¾î ¾øÀÌ Á¢¼ÓÇÏ´Â ¿ÍÀ̾½º º»µù 306
    11-2 ¸®µå ÇÁ·¹ÀÓÀÌ ÇÊ¿ä ¾ø´Â BGA 310
    11-3 ´Ù±â´ÉÈ­¸¦ ¸ñÇ¥·Î ÇÏ´Â SiP 313
    11-4 ¸®¾ó Ĩ »çÀÌÁîÀÇ ¿þÀÌÆÛ ·¹º§ ÆÐÅ°Áö 316
    12Àå ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ ÃÖ±Ù µ¿Çâ
    12-1 ·Îµå¸Ê°ú ¡®¿ÀÇÁ¡¯ ·Îµå¸Ê 322
    12-2 ±â·Î¿¡ ¼± ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ ¹Ì¼¼È­ 327
    12-3 more moore¿¡ ÇÊ¿äÇÑ NGLÀ̶õ? 332
    12-4 EUV ±â¼ú µ¿Çâ 336
    12-5 450mm ¿þÀÌÆÛ µ¿Çâ 342
    12-6 ¹ÝµµÃ¼ fab.ÀÇ ´Ù¾çÈ­ 348
    12-7 ĨÀ» °üÅëÇÏ´Â TSV 352
    12-8 more moore¿¡ ´ëÇ×ÇÏ´Â 3Â÷¿ø ½ÇÀå 355
    ºÎ·Ï ÇÏÇÁ ÇÇÄ¡¿¡ °üÇÏ¿© 359
    ºÎ·Ï ÇâÈÄ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »óȲÀº ¾î¶»°Ô Àü°³µÉ °ÍÀΰ¡
    (ÀÛ¼ºÀÚ Á¶¼ºÈ¯) 360