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1Àå ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ Àüü»ó
1-1 ÇÑ´«¿¡ º¸´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º 12
1-2 Àü °øÁ¤°ú ÈÄ °øÁ¤ÀÇ Â÷ÀÌÁ¡ 16
1-3 ¼øȯÇüÀÇ Àü °øÁ¤ ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º 19
1-4 ÇÁ·ÐÆ® ¿£µå¿Í ¹é ¿£µå 22
1-5 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¶õ? 26
1-6 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ´Â ¾î¶»°Ô ¸¸µé¾îÁú±î? 29
1-7 ½Ç¸®ÄÜÀÇ ¼ºÁú 32
1-8 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¿ä±¸µÇ´Â ûÁ¤µµ 35
1-9 ¹ÝµµÃ¼ fab.¿¡¼ÀÇ »ç¿ë¹ý 39
1-10 ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛÀÇ ´ë±¸°æÈ 43
1-11 Á¦Ç°¿¡ ¿¬°áµÇ´Â ÈÄ °øÁ¤ 46
1-12 ÈÄ °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëÇÏ´Â ÇÁ·Î¼¼½º 49
2Àå Àü °øÁ¤ÀÇ °³¿ä
2-1 ¹Ì¼¼È¸¦ Ãß±¸ÇÏ´Â Àü °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼½º 54
2-2 ĨÀ» ÀÏ°ý Á¦ÀÛÇÏ´Â Àü °øÁ¤ 57
2-3 ¡®´ë±â¡¯°¡ ¾ø´Â ÇÁ·Î¼¼½º¿¡¼ ÇÊ¿äÇÑ °Ë»ç ¹× ¸ð´ÏÅ͸µ 61
2-4 Àü °øÁ¤ fab.ÀÇ Àüü»ó 64
2-5 fab.ÀÇ ¶óÀÎ ±¸¼º - º£ÀÌ ¹æ½ÄÀ̶õ? 67
2-6 fab.¿¡¼ Á¶±â ¼öÀ² Á¤»ó °¡µ¿ÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ÀÌÀ¯ 70
3Àå ¿þÆ® ÇÁ·Î¼¼½º(¼¼Á¤°ú °ÇÁ¶)
3-1 Ç×»ó ûÁ¤ ¸éÀ» À¯ÁöÇÏ´Â ¼¼Á¤ ÇÁ·Î¼¼½º 74
3-2 ¼¼Á¤ÀÇ ±â¹ý°ú ¸ÞÄ¿´ÏÁò 77
3-3 ¼¼Á¤ÀÇ ±âº»-RCA ¼¼Á¤ 80
3-4 »õ·Î¿î ¼¼Á¤¹ý 83
3-5 ¹èÄ¡½Ä°ú ¸Å¿±½ÄÀÇ Â÷ÀÌ 86
3-6 ½º·çDzÀÌ Áß¿äÇÑ ¼¼Á¤ ÇÁ·Î¼¼½º 89
3-7 ¼¼Á¤ ÈÄ ÇʼöÀûÀÎ °ÇÁ¶ ÇÁ·Î¼¼½º 92
3-8 »õ·Î¿î °ÇÁ¶ ÇÁ·Î¼¼½º 95
3-9 ¿þÆ® ÇÁ·Î¼¼½º¿Í µå¶óÀÌ ¼¼Á¤ 98
4Àå ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ°ú ¿Ã³¸® ÇÁ·Î¼¼½º
4-1 ºÒ¼ø¹°À» ÅõÀÔÇÏ´Â ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ±â¼ú 104
4-2 °íÁø°øÀÌ ÇÊ¿äÇÑ ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ÇÁ·Î¼¼½º 107
4-3 ¸ñÀû¿¡ µû¶ó »ç¿ë¹ýÀ» ±¸º°ÇÏ´Â ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ÇÁ·Î¼¼½º 110
4-4 ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ÈÄÀÇ °áÁ¤ ȸº¹ ó¸® 114
4-5 ´Ù¾çÇÑ ¿Ã³¸® ÇÁ·Î¼¼½º 117
4-6 ÃֽŠ·¹ÀÌÀú ¾î´Ò ÇÁ·Î¼¼½º 120
4-7 LSI Á¦Á¶¿Í ¼¸Ö ¹öÁþ 124
5Àå ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÇÁ·Î¼¼½º
5-1 ¹Ø±×¸²À» ±×¸®´Â ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÇÁ·Î¼¼½º 128
5-2 ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ÇÁ·Î¼¼½º´Â »çÁøÀÌ ±âº» 132
5-3 ¹Ì¼¼È¸¦ ¹ßÀü½ÃŲ ³ë±¤ ±â¼úÀÇ ÁøÈ 135
5-4 ¸¶½ºÅ©¿Í Æ縮Ŭ 139
5-5 ÀÎÈÁö¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â °¨±¤¼º ·¹Áö½ºÆ® 142
5-6 ·¹Áö½ºÆ® ¸·À» µµÆ÷ÇÏ´Â ÄÚÅÍ 146
5-7 ³ë±¤ ÈÄ ÇÊ¿äÇÑ Çö»ó ÇÁ·Î¼¼½º 149
5-8 ºÒÇÊ¿äÇÑ ·¹Áö½ºÆ®¸¦ Á¦°ÅÇÏ´Â ¾Ö½Ì ÇÁ·Î¼¼½º 153
5-9 ¾×ħ ³ë±¤ ±â¼úÀÇ ÇöȲ 156
5-10 ´õºí ÆÐÅÍ´×À̶õ? 159
5-11 ´õ¿í ¹Ì¼¼È¸¦ Ãß±¸ÇÏ´Â EUV ±â¼ú 162
5-12 ½ºÅÆÇÁ ¹æ½ÄÀÇ ³ª³ë ÀÓÇÁ¸°Æ® ±â¼ú 165
6Àå ¿¡Äª ÇÁ·Î¼¼½º
6-1 ¿¡Äª ÇÁ·Î¼¼½º ÇÃ·Î¿Í Ä¡¼ö º¯È¯Â÷ 172
6-2 ¿©·¯ ±â¹ýÀÌ Á¸ÀçÇÏ´Â ¿¡Äª ÇÁ·Î¼¼½º 175
6-3 ¿¡Äª ÇÁ·Î¼¼½º¿¡ ÇʼöÀûÀÎ Çö󽺸¶¶õ? 178
6-4 RF(°íÁÖÆÄ) Àΰ¡ ¹æ½Ä¿¡ ÀÇÇÑ Â÷ÀÌÁ¡ 181
6-5 À̹漺 ¸ÞÄ¿´ÏÁò 184
6-6 µå¶óÀÌ ¿¡Äª ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ °úÁ¦ 187
7Àå ¼º¸· ÇÁ·Î¼¼½º
7-1 LSIÀÇ ±â´É¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ¼º¸· ÇÁ·Î¼¼½º 192
7-2 ´Ù¾çÇÑ ±â¹ýÀÌ ÀÖ´Â ¼º¸· ÇÁ·Î¼¼½º 195
7-3 ÇϺÎÃþ Çü»ó¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â ¼º¸· ÇÁ·Î¼¼½º 198
7-4 ¿þÀÌÆÛ¸¦ Á÷Á¢ »êÈÇÏ´Â »êÈ ÇÁ·Î¼¼½º 201
7-5 ¿ CVD¿Í Çö󽺸¶ CVD 204
7-6 ±Ý¼Ó¸·¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ½ºÆÛÅ͸µ ÇÁ·Î¼¼½º 207
7-7 Cu ¹è¼±¿¡ ÇʼöÀûÀÎ µµ±Ý ÇÁ·Î¼¼½º 210
7-8 low-k ¸·¿¡µµ »ç¿ëÇÏ´Â µµÆ÷ ÇÁ·Î¼¼½º 213
7-9 high-k °ÔÀÌÆ® ½ºÅà ÇÁ·Î¼¼½º 216
7-10 Cu/low-k ÇÁ·Î¼¼½º 221
8Àå ÆòźÈ(CMP) ÇÁ·Î¼¼½º
8-1 ´ÙÃþ ¹è¼±¿¡ ÇʼöÀûÀÎ CMP ÇÁ·Î¼¼½º 226
8-2 ÷´Ü ¸®¼Ò±×·¡ÇǸ¦ È°¿ëÇÑ CMP ÇÁ·Î¼¼½º 229
8-3 ¿þÆ® ÇÁ·Î¼¼½º·Î ȸ±ÍÇÏ´Â CMP ÀåÄ¡ 232
8-4 ¼Ò¸ðÀç°¡ ¸¹Àº CMP ÇÁ·Î¼¼½º 235
8-5 CMPÀÇ ÆòÅºÈ ¸ÞÄ¿´ÏÁò 238
8-6 Cu/low-k¿¡ ÀÀ¿ëÇÏ´Â CMP ÇÁ·Î¼¼½º 241
8-7 °úÁ¦°¡ »êÀûÇØ ÀÖ´Â CMP ÇÁ·Î¼¼½º 245
9Àå CMOS ÇÁ·Î¼¼½º Ç÷Î
9-1 CMOS¶õ? 250
9-2 CMOS È¿°ú 254
9-3 CMOS ±¸Á¶ Á¦ÀÛ(1) ¼ÒÀÚ °£ ºÐ¸® ¿µ¿ª 258
9-4 CMOS ±¸Á¶ Á¦ÀÛ(2) À£ Çü¼º 262
9-5 Æ®·£Áö½ºÅÍ Çü¼º(1) °ÔÀÌÆ®ÀÇ Çü¼º 265
9-6 Æ®·£Áö½ºÅÍ Çü¼º(2) ¼Ò½º¿Í µå·¹ÀÎ 268
9-7 Àü±Ø Çü¼º(W Ç÷¯±× Çü¼º) 271
9-8 ¹é ¿£µå ÇÁ·Î¼¼½º 275
10Àå ÈÄ °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ °³¿ä
10-1 ºÒ·®Ç°À» Á¦°ÅÇÏ´Â ÇÁ·Îºù 280
10-2 ¿þÀÌÆÛ¸¦ ¾ã°Ô ÇÏ´Â ¹é ±×¶óÀεå 283
10-3 ĨÀ¸·Î À߶󳻴 ´ÙÀÌ½Ì 286
10-4 ĨÀ» ºÙÀÌ´Â ´ÙÀÌ º»µù 289
10-5 Àü±âÀûÀ¸·Î ¿¬°áÇÏ´Â ¿ÍÀÌ¾î º»µù 292
10-6 ĨÀ» ¼ö³³ÇÏ´Â ¸ôµù 295
10-7 Á¦Ç°À» À§ÇÑ ¸¶Å·°ú ¸®µå Æ÷¹Ö 298
10-8 ÃÖÁ¾ °Ë»ç °øÁ¤ 301
11Àå ÈÄ °øÁ¤ÀÇ µ¿Çâ
11-1 ¿ÍÀÌ¾î ¾øÀÌ Á¢¼ÓÇÏ´Â ¿ÍÀ̾½º º»µù 306
11-2 ¸®µå ÇÁ·¹ÀÓÀÌ ÇÊ¿ä ¾ø´Â BGA 310
11-3 ´Ù±â´Éȸ¦ ¸ñÇ¥·Î ÇÏ´Â SiP 313
11-4 ¸®¾ó Ĩ »çÀÌÁîÀÇ ¿þÀÌÆÛ ·¹º§ ÆÐÅ°Áö 316
12Àå ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ ÃÖ±Ù µ¿Çâ
12-1 ·Îµå¸Ê°ú ¡®¿ÀÇÁ¡¯ ·Îµå¸Ê 322
12-2 ±â·Î¿¡ ¼± ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ ¹Ì¼¼È 327
12-3 more moore¿¡ ÇÊ¿äÇÑ NGLÀ̶õ? 332
12-4 EUV ±â¼ú µ¿Çâ 336
12-5 450mm ¿þÀÌÆÛ µ¿Çâ 342
12-6 ¹ÝµµÃ¼ fab.ÀÇ ´Ù¾çÈ 348
12-7 ĨÀ» °üÅëÇÏ´Â TSV 352
12-8 more moore¿¡ ´ëÇ×ÇÏ´Â 3Â÷¿ø ½ÇÀå 355
ºÎ·Ï ÇÏÇÁ ÇÇÄ¡¿¡ °üÇÏ¿© 359
ºÎ·Ï ÇâÈÄ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »óȲÀº ¾î¶»°Ô Àü°³µÉ °ÍÀΰ¡
(ÀÛ¼ºÀÚ Á¶¼ºÈ¯) 360 ½Ç¹« Áß½ÉÀÇ
¹ÝµµÃ¼ ºñÁî´Ï½º ÀÔ¹®¼
ÀÌ Ã¥Àº ¹ÝµµÃ¼ ºñÁî´Ï½º¿¡ Á¾»çÇÏ°í Àְųª ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ Àü¹Ý¿¡ Èï¹Ì¸¦ °¡Áø ºñÀü¹®°¡¸¦ Æ÷ÇÔÇØ »çȸÀΰú ÇлýÀ» ´ë»óÀ¸·Î ÁýÇʵǾú´Ù. ¿À·£ ½Ã°£ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷¿¡ ±Ù¹«Çß´ø ÀúÀÚ´Â ±×°£ÀÇ °æÇèÀ» »ì·Á °¡´ÉÇÑ ½Ç¹« À§ÁÖÀÇ ÇöÀå ¿ë¾î¸¦ »ç¿ëÇÏ¿´´Ù. ±×¸®°í °¿¬À» ÇÏ¸é¼ ¹Þ¾Ò´ø ¿©·¯ Áú¹®À» Á¤¸®ÇÏ°í ´Ùµë¾î¼ µ¶ÀÚµéÀÌ ½Ç¸®ÄܺÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ fab. Àü¡¤ÈÄ °øÁ¤¿¡ À̸£±â±îÁö ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º Àü¹ÝÀ» ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÏ¿´´Ù. ³»¿ë Áß Àü¹®ÀûÀÎ ¼³¸íµµ ÀϺΠÆ÷ÇÔÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ ÇöÀå¿¡¼ÀÇ °æÇè°ú ³ëÇϿ츦 ¹ÙÅÁÀ¸·Î º¹ÀâÇÑ °úÁ¤Àº ±×¸²°ú Ç¥·Î ¼³¸íÇÏ¿´´Ù. ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¿ª»çÀû ¹è°æºÎÅÍ ÇöÀç±îÁöÀÇ È帧À» ÇÑ´«¿¡ º¼ ¼ö ÀÖ¾î¼ °ü½ÉÀÌ ÀÖ´Â »ç¶÷À̶ó¸é ºñÀü¹®°¡µµ ½±°Ô ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Çß´Ù.
ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼¿Í °ü·ÃµÈ ¾÷Á¾¿¡ Á¾»çÇÏ°í ÀÖ´Â °æ¿ì¶óµµ ÀÚ½ÅÀÇ Àü¹® ºÐ¾ß ÀÌ¿Ü¿¡ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ Àü¹ÝÀ» ÀÌÇØÇÏ°í ÇâÈÄ Àü¸ÁÀ» ¿¹ÃøÇÏ´Â µ¥ ¿©·¯¸ð·Î µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀÌ´Ù.
ÁöÀºÀÌ »çÅä ÁØÀÌÄ¡
ÀϺ» ±³Åä´ëÇÐ ´ëÇпø °øÇבּ¸°ú ¼®»çÇÐÀ§¸¦ ÃëµæÇÏ¿´´Ù. 1978³â µ¿°æ Àü±âÈÇаø¾÷(Çö TDK)¿¡¼ ÀÏÀ» ½ÃÀÛÇÏ
¿´°í, 1982³â SONY¿¡ ÀÔ»çÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼¿Í ¹Ú¸· µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ÇÁ·Î¼¼½º ¿¬±¸ °³¹ß¿¡ °ü·ÃÇÑ ÀÏÀ» ÇÏ¿´´Ù. ÀϺ» ¹Ý
µµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ºÎÈïÀ» À§ÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ ¾ÅÅ©ÅÊÅ©·Î ¾Ë·ÁÁø ÀϺ»¹ÝµµÃ¼»ê¾÷¿¬±¸¼Ò(SIRIJ)°¡ ¸¸µç Selete(¹ÝµµÃ¼ ÷
´Ü Å×Å©³î·ÎÁö)ÀÇ Ã¢¸³¿¡ °ü¿©ÇÏ¿´À¸¸ç, ³ª°¡»çÅ° ´ëÇÐ °øÇкο¡¼ °»ç·Î È°µ¿ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀϺ» ³» ÀÀ¿ë¹°¸®ÇÐȸ
ȸ¿øÀÌ´Ù.
Àú¼·Î´Â ¡º±×¸²À¸·Î ½±°Ô ÀÌÇØÇÏ´Â ÃֽŠ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ÀåÄ¡ÀÇ ±âº»°ú ±¸Á¶ 3ÆÇ¡»°ú ¡º±×¸²À¸·Î ÀÌÇØÇÏ´Â ÃֽŠÆÄ¿ö
¹ÝµµÃ¼ÀÇ ±âº»°ú ±¸Á¶ 2ÆÇ¡» µîÀÌ ÀÖ´Ù.
¿Å±äÀÌ Á¶¼ºÈ¯
¿ï»ê´ëÇб³ ¹ÝµµÃ¼Çаú »êÇÐÇù·Â ±³¼öÀÌ´Ù.
1997³â ÀϺ» ¾²Äí¹Ù´ëÇп¡¼ ¹ÝµµÃ¼ Àç·á °øÇйڻç ÇÐÀ§¸¦ ÃëµæÇÑ ÈÄ ÀϺ» Åë»ó»ê¾÷¼º(Çö °æÁ¦»ê¾÷¼º) »êÇÏ »ê¾÷
±â¼ú ÃÑÇÕ¿¬±¸¼Ò¿¡¼ GaN LED, GaN/AlGaN HEMT °áÁ¤ ¼ºÀå ¹× µð¹ÙÀ̽º Á¦ÀÛ ¾÷¹«¿¡ Á¾»çÇÏ¿´´Ù. 2000³â »ï
¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ ÃÑ°ý¿¡ ÀÔ»ç ÈÄ »ï¼º µð½ºÇ÷¹ÀÌ, »ï¼º Á¾ÇÕ±â¼ú¿ø¿¡¼ TFT(thin film transist)°³¹ß, flexible OLED
panel °³¹ßÀ» ´ã´çÇÏ¿´´Ù.
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