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쉽게 배우는 반도체 프로세스

판매가 18,000
저자 사토 준이치
역자 조성환
판형 A5/반양장/2색 인쇄
페이지수 376면
ISBN 979-11-5971-487-0
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합계
    1장 반도체 제조 프로세스의 전체상
    1-1 한눈에 보는 반도체 프로세스 12
    1-2 전 공정과 후 공정의 차이점 16
    1-3 순환형의 전 공정 반도체 프로세스 19
    1-4 프론트 엔드와 백 엔드 22
    1-5 실리콘 웨이퍼란? 26
    1-6 실리콘 웨이퍼는 어떻게 만들어질까? 29
    1-7 실리콘의 성질 32
    1-8 실리콘 웨이퍼에 요구되는 청정도 35
    1-9 반도체 fab.에서의 사용법 39
    1-10 실리콘 웨이퍼의 대구경화 43
    1-11 제품에 연결되는 후 공정 46
    1-12 후 공정에서 사용하는 프로세스 49
    2장 전 공정의 개요
    2-1 미세화를 추구하는 전 공정 프로세스 54
    2-2 칩을 일괄 제작하는 전 공정 57
    2-3 ‘대기’가 없는 프로세스에서 필요한 검사 및 모니터링 61
    2-4 전 공정 fab.의 전체상 64
    2-5 fab.의 라인 구성 - 베이 방식이란? 67
    2-6 fab.에서 조기 수율 정상 가동이 필요한 이유 70
    3장 웨트 프로세스(세정과 건조)
    3-1 항상 청정 면을 유지하는 세정 프로세스 74
    3-2 세정의 기법과 메커니즘 77
    3-3 세정의 기본-RCA 세정 80
    3-4 새로운 세정법 83
    3-5 배치식과 매엽식의 차이 86
    3-6 스루풋이 중요한 세정 프로세스 89
    3-7 세정 후 필수적인 건조 프로세스 92
    3-8 새로운 건조 프로세스 95
    3-9 웨트 프로세스와 드라이 세정 98
    4장 이온 주입과 열처리 프로세스
    4-1 불순물을 투입하는 이온 주입 기술 104
    4-2 고진공이 필요한 이온 주입 프로세스 107
    4-3 목적에 따라 사용법을 구별하는 이온 주입 프로세스 110
    4-4 이온 주입 후의 결정 회복 처리 114
    4-5 다양한 열처리 프로세스 117
    4-6 최신 레이저 어닐 프로세스 120
    4-7 LSI 제조와 서멀 버짓 124
    5장 리소그래피 프로세스
    5-1 밑그림을 그리는 리소그래피 프로세스 128
    5-2 리소그래피 프로세스는 사진이 기본 132
    5-3 미세화를 발전시킨 노광 기술의 진화 135
    5-4 마스크와 펠리클 139
    5-5 인화지에 해당하는 감광성 레지스트 142
    5-6 레지스트 막을 도포하는 코터 146
    5-7 노광 후 필요한 현상 프로세스 149
    5-8 불필요한 레지스트를 제거하는 애싱 프로세스 153
    5-9 액침 노광 기술의 현황 156
    5-10 더블 패터닝이란? 159
    5-11 더욱 미세화를 추구하는 EUV 기술 162
    5-12 스탬프 방식의 나노 임프린트 기술 165
    6장 에칭 프로세스
    6-1 에칭 프로세스 플로와 치수 변환차 172
    6-2 여러 기법이 존재하는 에칭 프로세스 175
    6-3 에칭 프로세스에 필수적인 플라스마란? 178
    6-4 RF(고주파) 인가 방식에 의한 차이점 181
    6-5 이방성 메커니즘 184
    6-6 드라이 에칭 프로세스의 과제 187
    7장 성막 프로세스
    7-1 LSI의 기능에 필수적인 성막 프로세스 192
    7-2 다양한 기법이 있는 성막 프로세스 195
    7-3 하부층 형상에 영향을 미치는 성막 프로세스 198
    7-4 웨이퍼를 직접 산화하는 산화 프로세스 201
    7-5 열 CVD와 플라스마 CVD 204
    7-6 금속막에 필요한 스퍼터링 프로세스 207
    7-7 Cu 배선에 필수적인 도금 프로세스 210
    7-8 low-k 막에도 사용하는 도포 프로세스 213
    7-9 high-k 게이트 스택 프로세스 216
    7-10 Cu/low-k 프로세스 221
    8장 평탄화(CMP) 프로세스
    8-1 다층 배선에 필수적인 CMP 프로세스 226
    8-2 첨단 리소그래피를 활용한 CMP 프로세스 229
    8-3 웨트 프로세스로 회귀하는 CMP 장치 232
    8-4 소모재가 많은 CMP 프로세스 235
    8-5 CMP의 평탄화 메커니즘 238
    8-6 Cu/low-k에 응용하는 CMP 프로세스 241
    8-7 과제가 산적해 있는 CMP 프로세스 245
    9장 CMOS 프로세스 플로
    9-1 CMOS란? 250
    9-2 CMOS 효과 254
    9-3 CMOS 구조 제작(1) 소자 간 분리 영역 258
    9-4 CMOS 구조 제작(2) 웰 형성 262
    9-5 트랜지스터 형성(1) 게이트의 형성 265
    9-6 트랜지스터 형성(2) 소스와 드레인 268
    9-7 전극 형성(W 플러그 형성) 271
    9-8 백 엔드 프로세스 275
    10장 후 공정 프로세스의 개요
    10-1 불량품을 제거하는 프로빙 280
    10-2 웨이퍼를 얇게 하는 백 그라인드 283
    10-3 칩으로 잘라내는 다이싱 286
    10-4 칩을 붙이는 다이 본딩 289
    10-5 전기적으로 연결하는 와이어 본딩 292
    10-6 칩을 수납하는 몰딩 295
    10-7 제품을 위한 마킹과 리드 포밍 298
    10-8 최종 검사 공정 301
    11장 후 공정의 동향
    11-1 와이어 없이 접속하는 와이어리스 본딩 306
    11-2 리드 프레임이 필요 없는 BGA 310
    11-3 다기능화를 목표로 하는 SiP 313
    11-4 리얼 칩 사이즈의 웨이퍼 레벨 패키지 316
    12장 반도체 프로세스의 최근 동향
    12-1 로드맵과 ‘오프’ 로드맵 322
    12-2 기로에 선 반도체 프로세스의 미세화 327
    12-3 more moore에 필요한 NGL이란? 332
    12-4 EUV 기술 동향 336
    12-5 450mm 웨이퍼 동향 342
    12-6 반도체 fab.의 다양화 348
    12-7 칩을 관통하는 TSV 352
    12-8 more moore에 대항하는 3차원 실장 355
    부록 하프 피치에 관하여 359
    부록 향후 시스템 반도체 상황은 어떻게 전개될 것인가
    (작성자 조성환) 360